Die hochauflösende Röntgeninspektion beruht auf dem Prinzip des Röntgenschattenmikroskops: Das Röntgenbild des Objektes im Abstand FOA von einer nahezu punktförmigen Röntgenquelle wird auf den Detektor im Abstand FDA vergrößert projiziert. Der Vergrößerungsfaktor ist dabei M= FDA /FOA.
Mikroskopische Objektdetails werden also stark vergrößert abgebildet und können so auch mit echtzeitfähigen Detektoren, deren Auflösung bei einigen Zehntelmillimetern liegt, aufgenommen werden.
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