Bei diesem Röhrentyp wird der Brennfleck der Mikrofocus-Röhre durch ein mehrstufiges Linsen- und Blendensystem weiter verkleinert. Die Röhren können in mehreren Modi, d.h. Leistungs- und Auflösungsbereichen betrieben werden. Im Hochauflösungsbetrieb erreichen sie eine Detailerkennbarkeit von 200 nm bis 300 nm (0,2 bis 0,3 µm).
Um diese extrem hohe Detailerkennbarkeit zu erreichen, wurde von phoenix|x-ray ein spezieller Hochspannungsgenerator entwickelt, da kein handelsüblicher Generator die geforderte Stabilität aufweist.